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更新時間：2026-08-11 
瀏覽次數：101在半導體百級/千級無塵室里，機臺落位微調是個“細節決定成敗"的環節：
光刻機、量測機、涂膠顯影機對水平極其敏感，墊紙厚一點，氣浮平臺回零都要多花時間；
晶圓周邊靜電放電（ESD）風險高，普通無塵紙沒電阻指標，審計時根本拿不出數據；
潔凈室嚴禁現場裁紙，毛邊碎屑直接拉高顆粒計數。
市面上常被放在一起對比的兩款 A4 片裝滑紙：蘇博潤（ASUMARU）SB-CR16 和 KATAGI SR-A4。結合半導體前道/后道的不同需求，結論其實很清晰——
百級/千級無塵室、晶圓加工、光刻、量測機臺落位微調：
? 蘇博潤 SB-CR16
發塵數據按 SEMI 標準背書，審計可直接交差
防靜電數值明確，屬于“緩釋放"區間，保護敏感器件
超薄 0.095mm，對氣浮/減震平臺水平影響極小
禁止現場裁切 + 淺青單面涂層，符合潔凈室管理規范
KATAGI SR-A4：
? 定位：無塵室通用重物微調備用
可進潔凈室，適合非靜電敏感機臺
在“防靜電+可溯源發塵數據"這兩項上，文檔完備度弱于 SB-CR16
更適合萬級裝配、封裝后段或已有 KATAGI SR 體系、希望統一品牌的場景
SB-CR16 按 SEMI G67-0996 摩擦/揉搓測試：
≥0.1μm 顆粒：約 56 個/CF
≥0.3μm 顆粒：近乎零
并配 Leon KC-01A 塵埃計數器 測試報告，IQ/OQ 審計時可直接作為附件提交。
KATAGI SR-A4 資料中更多以“無粉塵油污、可直接進潔凈室"做定性描述，缺少顆粒計數的量化報告，在前道審計中說服力偏弱。
SB-CR16 正反面表面電阻：
7.90×101? ~ 8.50×101? Ω
靜電半消除時間：0.65s
屬于緩釋放區間，不會快速放電擊傷晶圓、光刻鏡頭或高精度傳感器，比普通無塵紙（無電阻指標）更適合晶圓周邊作業。
SR-A4 雖可用于潔凈室，但公開資料未強調表面電阻與靜電衰減時間，對靜電敏感場景的適配性不如 SB-CR16 清晰。
SB-CR16 厚度：0.095mm
兩張疊放總間隙 <0.2mm
在光刻機、探針臺、量測機底座落位后抽紙，對氣浮/減震平臺的水平回零影響極小，減少二次調平時間。
SR-A4 厚度約 0.09mm，雖接近，但在半導體前道“控厚"的需求下，SB-CR16 的公差控制更常被點名認可。
SB-CR16 為 A4 預裁、16 張/包、真空包裝，開箱即用，避免潔凈室裁紙產生毛邊碎屑——這條在半導體廠務管理里非常被看重。
SR-A4 同樣為 A4 片裝真空包裝，但在“禁止裁切"這一管理規范上，SB-CR16 的說明更明確、執行更統一。
僅用于安裝就位微調（≤100mm），不可替代 AGV / 滾筒輸送；
接觸面需平整硬質，銳角底座需加墊片；
SB-CR16 單組人力推 ≤2 噸，以上需配楔形工具，最大參考 10 噸內。
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