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更新時間：2026-08-24 
瀏覽次數：53隨著國內半導體晶圓廠加速擴產，以及先進制程對無塵環境要求的日益嚴苛，高等級潔凈室（ISO Class 4~5）內的微污染管控已成為決定芯片良率的關鍵環節。近日，日本老牌潔凈設備制造商KOTOHIRA（琴平工業）面向中國半導體市場推出KTV-MV2肩背式潔凈室專用吸塵器，該機型特別針對中國客戶需求優化電氣規格——全面兼容國內標準單相220V市電（AC 220V），無需外接變壓器即可即插即用，大幅降低晶圓廠設備部署與維護門檻，正式發力中國制造無塵清潔市場。
過往進口潔凈吸塵器常因電壓規格差異（如采用110V或120V供電），迫使國內晶圓廠額外配置調壓變壓器，既占用潔凈室有限空間，又增加電氣故障點與運維成本。
KTV-MV2專為中國半導體客戶定制開發，電機驅動系統全面適配國內標準單相220V工業市電，通電即用，無需任何電壓轉換設備：
簡化潔凈車間電氣布線，減少潛在發熱與故障點
方便在Fab不同工藝區域（黃光區、刻蝕區、封裝區）間靈活調配使用
降低設備導入驗證（IQ/OQ）復雜度，加快PM（預防性維護）工具到位速度
在先進制程晶圓制造中，一粒0.1μm的浮塵可能導致光刻圖形缺陷。KTV-MV2采用四重遞進過濾結構：
一次性密封濾袋→圓頂濾袋→布質濾袋→ULPA U15終端濾芯
對0.12μm及以上微粒捕集效率≥99.999%
整機全密封結構，杜絕氣溶膠泄漏與二次揚塵
出廠逐臺進行氣溶膠泄漏掃描檢測，排氣潔凈度優于環境空氣
適配光刻區、離子注入、CVD等前道制程無塵要求
SUS304防靜電不銹鋼機身，表面電阻≤10?Ω，配套防靜電PU軟管與316L不銹鋼吸嘴，快速接地釋放靜電荷，防止靜電吸附微粒或擊穿晶圓器件
整機EMI/RFI電磁屏蔽設計，運行時不干擾電子束量測機、激光干涉儀、粒子計數器等周邊精密儀器
傳統落地式潔凈吸塵器難以進入光刻機腔體、EFEM（設備前端模塊）、高架地板下方等狹窄區域。
KTV-MV2整機僅重約5kg，尺寸W200×D200×H510mm，配備人體工學肩帶，可深入：
光刻機投影物鏡下方工件臺縫隙
刻蝕腔室噴淋頭與靜電卡盤周邊
晶圓傳輸軌道、FOUP裝載端口
吊頂管線夾層、高架地板回風通道
標配1.8m防靜電軟管及超細窄縫噴嘴，實現真正的"移動式無塵清潔"
運行噪音≤58dB(A)＠2m，不干擾精密檢測作業
集塵耗材拆裝全程密閉，更換濾袋無粉塵外露
支持間歇性長時間循環作業，適配晶圓廠24h不間斷生產節奏
半導體場景 | KTV-MV2應用價值 |
|---|---|
光刻黃光區 | ULPA超高效過濾+防靜電，降低圖形缺陷率 |
刻蝕/CVD腔體PM | 肩背便攜深入腔體死角，縮短PM停機時間 |
晶圓傳輸區/EFEM | 無二次揚塵、無EMI干擾，保障傳輸精度 |
封裝測試車間 | 220V直插靈活移動，多工位快速切換 |
納加霍里服務保障
深圳納加霍里科技依托日本直屬公司供應鏈，省去中間環節與跨國調貨周期，KOTOHIRA琴平KTV-MV1/KTV-MV2原裝現貨直發，并提供：
工況選型咨詢與吸嘴配件適配建議；
原廠技術資料、安裝使用指導；
售后維保與ULPA濾芯、密封濾袋等耗材一站式供應。
現貨在庫，歡迎垂詢。
如需獲取詳細技術規格書或最新報價，請聯系納加霍里科技（深圳）有限公司。
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